文章来源:财联社
财联社8月14日电,据杭州日报,近日,作为基地首批签约孵化项目之一,全国首台国产商业电子束光刻机“羲之”已进入应用测试,其精度比肩国际主流设备,标志着量子芯片研发从此有了“中国刻刀”。在测试现场,浙大余杭量子研究院相关团队紧张忙碌着,一台模样酷似大型钢柜的机器正在做应用测试,电子显示屏上不断闪烁着实时参数?!罢獠皇瞧胀ǖ幕鳎且恢茉谕贩⑺可系窨坛稣鞘械赝嫉摹擅咨癖省?!”团队负责人告诉记者,依托省重点实验室,这台研究院自主研发的新一代100kV电子束光刻机“羲之”已正式投入市场。